CMOS kompatibilis termikus szenzor Integrált mikrorendszerek Dr. Székely Vladimír 2006. november Integrált mikrorendszerek Dr. Székely Vladimír 2006. november.

Az előadások a következő témára: "CMOS kompatibilis termikus szenzor Integrált mikrorendszerek Dr. Székely Vladimír 2006. november Integrált mikrorendszerek Dr. Székely Vladimír 2006. november."— Előadás másolata:

1 CMOS kompatibilis termikus szenzor Integrált mikrorendszerek Dr. Székely Vladimír 2006. november Integrált mikrorendszerek Dr. Székely Vladimír 2006. november

2  VT =  1.6 mV/K,   =  0.54%/K. MOS jellemzők

3 Áram kimenetű hőmérséklet szenzor

4 Az érzékenység

5 V C tápfeszültség függése

6 Frekvencia kimenetű változat

7 Frekvencia a hőmérséklet függvényében

8 Experiment No. 1 2 3 4 5 Process ES2 ECPD10 AMS AMS AMS AMS Feature size,  m 1 0.8 1.2 1.2 0.8 Number of samples 4 5 120 24 1 10 m(  )  10 -3 7.79 7.90 7.815 7.896 7.703  rel (  ) 0.0205 0.021 0.0161 0.00906 0.021 m(f), kHz 2 1132.5 854.78 855.71 824.2 953.86  rel (f) 0.0252 0.059 0.0391 0.0367 0.0583 V DD dependence o C/V 1.44 0.6 1.47 no data 2.95 1 on the same chip 2 V DD =5V, T=20 o C Stabilitás, statisztika

9 Vizsgálat széles hőmérséklet tartományban

10 Beépített termikus teszt a BS áramkörrel

11

12

13 Felhasználás egy termikus teszt chipben