Előadást letölteni
Az előadás letöltése folymat van. Kérjük, várjon
KiadtaPetra Bognárné Megváltozta több, mint 10 éve
1
Kártyás Bálint MFA nyári iskola Puskás Tivadar Távközlési Technikum
Elektrokróm rétegek Kártyás Bálint MFA nyári iskola Puskás Tivadar Távközlési Technikum
2
Bevezetés Mi az elektrokróm effektus? Reakítv porlasztás
Rétegek minősitése Összefoglalás, következtetés
3
Mi az elektrokróm effektus?
Chromos (görög) = szín Egy anyag színe változhat többféle hatásra (termo, foto, piezo …) Elektrokromizmus: színváltozás elektromos potenciál hatására Ismert anyagcsoportok, amelyeken ilyen hatás fellép: szerves pigmentek (reverzibilis redox reakciók) vezető polimerek (polaron képződés) fémoxidok
4
Alkalmazási területek
Kijelzők Tükrök és üvegek („Smart windows”) Autóipar Optikai szűrők
5
Építészeti alkalmazás
6
Az eszköz keresztmetszete Mo vagy W oxid aktív réteg
Elv: reverzibilis elektrokémiai reakció a MoO3 rétegben
7
MoO3 rétegépítés : reaktív magnetron porlasztás
Önfenntartó kisülés (plazma) – DC, RF Reaktív: oxigén szerepe Paraméterek: gáznyomás, teljesítmény, munkatávolság Magnetron elve: ionizációs hatásfok növelése, „sűrűbb” plazma
8
A rétegleválasztó berendezés
9
Leválasztott rétegek minősítése
Rétegvastagság mint a fő porlasztási paraméterek (gázarány, teljesítmény ) függvénye Optikai tulajdonságok (transzmisszió) Kristályszerkezet, sávszerkezet – XRD, SEM, TEM, PL …
10
Kiértékelés I. – Rétegépülési sebesség leírása
G=konstans S=aP+b a=k1G+k2 b=k3G+k4 S=(k1G+k2)P+k3G+k4 S:[nm/ciklus] P:[W] G: % m/m
11
Kiértékelés I. – Rétegépülési sebesség leírása
Mérési pontok eloszlása Illesztett függvény
12
Kiértékelés II. - Transzmisszió
(1/d(lnI/I0)Eg)2 MoO3 rétegek transzmissziós spektrumai Sávél változása Sávél felett: reflexió miatti minimumok-maximumok Kiértékelt spektrumok Tiltott sáv függése a leválasztási paraméterektől
13
Összefoglalás Reaktív porlasztással választottam le MoO3 rétegeket
Rétegépülési sebesség leírása illesztett tapasztati függvénnyel Transzmissziós tulajdonságok mérése
14
Köszönöm a figyelmet!
Hasonló előadás
© 2024 SlidePlayer.hu Inc.
All rights reserved.