Rendezett cink-oxid nanorudak Készítette: Harmat Zita, Kodály Zoltán Magyar Kórusiskola – Budapest Mentorok: Erdélyi.

Az előadások a következő témára: "Rendezett cink-oxid nanorudak Készítette: Harmat Zita, Kodály Zoltán Magyar Kórusiskola – Budapest Mentorok: Erdélyi."— Előadás másolata:

1 Rendezett cink-oxid nanorudak Készítette: Harmat Zita, harmzita@gmail.com harmzita@gmail.com Kodály Zoltán Magyar Kórusiskola – Budapest Mentorok: Erdélyi Róbert és dr. Volk János

2 Cink-oxid nanorudak alkalmazásai (c) UV nanolézer Nanogenerátor Nanolencse Cink-oxid legfontosabb tulajdonságai: -Piezoelektromosság -Félvezető -Biokompatibilitás

3 Technológia Elektronsugaras litográfia Tisztítás Nedveskémiai növesztés PMMA eltávolítása PMMA aceton, etanol, víz, oxigén plazma Ellenálló lakkréteg (PMMA) felvitele Litográfia: 46 pA 1,8-2,6 ms/pont Előhívás (CH 2 ) 6 N 4 (Hexametilén-tetramin) Zn(NO 3 ) 2 *6H 2 O (cink-nitrát-hexahidrát) 0.2 liter desztillált vízben, 85 °C A maradék lakk leoldása acetonban

4 Eredmények Az AFM működése Előhívás után Marker előhívás után Rezisztréteg vastagsága: 370 nm

5 Eredmények Előhívás után – optikai mikroszkóppal Előhívás után – AFM-mel Növesztés után – SEM-mel

6 Átmérő eloszlásfüggvény Növesztés után - SEM Átmérő eloszlás

7 Köszönetnyilvánítás Ezúton szeretnék köszönetet mondani Mentoraimnak, Erdélyi Róbertnek és dr. Volk Jánosnak, a szakmai irányításért, dr. Lukács Istvánnak az elektronsugaras litográfiában nyújtott segítségéért és dr. Tóth Attilának a SEM képek elkészítéséért. Ezúton szeretnék köszönetet mondani Mentoraimnak, Erdélyi Róbertnek és dr. Volk Jánosnak, a szakmai irányításért, dr. Lukács Istvánnak az elektronsugaras litográfiában nyújtott segítségéért és dr. Tóth Attilának a SEM képek elkészítéséért. Köszönet jár még magának az Intézetnek is a lehetőségért, hogy itt lehettem. Köszönet jár még magának az Intézetnek is a lehetőségért, hogy itt lehettem.