Elektronikus Eszközök Tanszék

Az előadások a következő témára: "Elektronikus Eszközök Tanszék"— Előadás másolata:

1 Elektronikus Eszközök Tanszék
INTEGRÁLT MIKRORENDSZEREK MEMS = Micro- Electro- Mechanical Systems Elektronikus Eszközök Tanszék 1999

2 Hogy mit lehet megcsinálni… ! A “nano-gitár”
Egykristályos Si, a húrok szélessége 50 nm = 100 atom!

3 Egy “befüggesztett” elem Funkció: „hot plate”
Méretek: pl. 200x200 m, vastagság 3-4 m HOGYAN KÉSZÜL?

4 A front-oldali megmunkálás Kristálytani iránytól függő, szelektív marás
A felület: <100> sík <111> síkok

5 Alkalmazás: gyorsulásmérő, rezgésmérő
Szeizmikus tömeg Rugalmas nyak Piezorezisztív érzékelő (hídkapcsolásban)

6 A feláldozandó (sacrified) réteg
Például: SiO2 a poli alatt

7 Feláldozandó réteggel készült csapágy
Ez a himba elfordulhat

8 Függesztett membrán, feláldozandó réteggel

9 Elektrosztatikus mozgatás: elmozdulás keltés

10 Elektrosztatikus mozgatás: szögelfordulás keltés

11 Elektrosztatikus mozgatás: mikro-motor

12 A mikro-motor légrése és csapágyazása

13 Elektrosztatikus mozgatás: billenőtükrös fénymodulátor
Ez egy MOEMS: Micro- Opto- Electro- Mechanical System

14 A LIGA eljárás A maszk vastag poli-imid réteg, exponálás szinkrotron sugárral, előhívás, galvanikus rétegnövesztés Ezek itt fém fogaskerekek!