Előadást letölteni
Az előadás letöltése folymat van. Kérjük, várjon
1
Transzmissziós elektronmikroszkóp
Molnár Janka Sára Mentor: Kiss Koppány Ákos
2
Vázlat Működése Üzemmód Mérések, Kísérletek Összegzés
3
Működése Katód Elektron nyaláb Minta Objektív lencse Ernyő
Működési elv ~ fénymikroszkóp Elektromágneses lencsék Sokoldalú használat (analitika, anyagszerkezet)
4
Üzemmódok Orientáció vizsgálata: a fókuszsíkban látott mintázat
szoros kapcsolatban van a kristály és a sugár viszonyával, azaz a minta orientációjával. Diffrakciós üzemmód: a lencse fókuszsíkja vetül ki az ernyőre Képi üzemmód: a lencse képsíkja vetül ki az ernyőre
5
Kísérlet 001 101 111 Indexelés
6
Minta 2 µm Hordozó: Si + vékony SiO TiN, kevés O2 TiN, több O2 1 2 3
Növekedés iránya: - piros 001 - kék 111
7
Technikai hibák Zöld: Si Piros: TiN HIBA!!! 001 101 111
8
TiN orientációja 001 101 111
9
Összegzés Elektronmikroszkóp használata Nagyon érdekes kísérlet
Hasznos információk
10
Köszönöm a megtisztelő figyelmet!
Köszönetnyilvánítás: Dr. Daróczi Csaba Sándor Kiss Koppány Ákos Szívós János
Hasonló előadás
