Előadást letölteni
Az előadás letöltése folymat van. Kérjük, várjon
1
Szimuláció a mikroelektronikában Dr. Mizsei János 2013
2
2 Szimuláció Szimuláció: – Pénz- és időmegtakarítás – Célszerű egyszerűsítések, elhanyagolások – Modellek és paraméterek Egymásra épülő lépések, alacsonyabb szintekről paraméterek kivonása a magasabb szintek modelljeihez – Pl. pár tranzisztoros kapcsolás transzfer függvénye -> logikai szinten kapu
3
3 Szimuláció Mikroelektronikai szimulációs szintek
4
4 Technológiai szimuláció Legalsó szint: a technológiai szimuláció Szimulációs modellek: Fizikai-kémiai törvények alapján – Fick-törvények – Határfelületi jelenségek (kémiai reakciók) – Rétegleválási folyamatok
5
5 Technológiai szimuláció Algoritmusok – Hasonlóak más szimulációkhoz – Rácsgenerálás – Differenciálegyenletek megoldása adott peremfeltételekre FEM, Newton-Raphson … Bemenetek – Környezet geometriája, peremfeltételek – Technológiai lépések paraméterei – Hőmérséklet, idő, koncentrációk, nyomás …
6
6 Technológiai szimuláció Eredmények – Struktúra geometriája – Adalékprofilok – Potenciál-, térerősség- eloszlás – Áramsűrűség-, hőmérséklet-eloszlás – Modellparaméterek a fizikai szimulációhoz – Tervezési szabályok layouthoz (pontosság, szórás, torzítás)
Hasonló előadás
