Előadást letölteni
Az előadás letöltése folymat van. Kérjük, várjon
1
Szimuláció a mikroelektronikában
Dr. Mizsei János 2013
2
Szimuláció Szimuláció:
Pénz- és időmegtakarítás Célszerű egyszerűsítések, elhanyagolások Modellek és paraméterek Egymásra épülő lépések, alacsonyabb szintekről paraméterek kivonása a magasabb szintek modelljeihez Pl. pár tranzisztoros kapcsolás transzfer függvénye -> logikai szinten kapu
3
Szimuláció Mikroelektronikai szimulációs szintek
4
Technológiai szimuláció
Legalsó szint: a technológiai szimuláció Szimulációs modellek: Fizikai-kémiai törvények alapján Fick-törvények Határfelületi jelenségek (kémiai reakciók) Rétegleválási folyamatok
5
Technológiai szimuláció
Algoritmusok Hasonlóak más szimulációkhoz Rácsgenerálás Differenciálegyenletek megoldása adott peremfeltételekre FEM, Newton-Raphson … Bemenetek Környezet geometriája, peremfeltételek Technológiai lépések paraméterei Hőmérséklet, idő, koncentrációk, nyomás …
6
Technológiai szimuláció
Eredmények Struktúra geometriája Adalékprofilok Potenciál-, térerősség-eloszlás Áramsűrűség-, hőmérséklet-eloszlás Modellparaméterek a fizikai szimulációhoz Tervezési szabályok layouthoz (pontosság, szórás, torzítás)
Hasonló előadás
