Előadást letölteni
Az előadás letöltése folymat van. Kérjük, várjon
1
Gázérzékelők Módszerek: Reakcióhő mérése alapján
Vezetőképesség változása alapján Gázok eltérő hővezetése alapján Miniatürizálás ~3W 5-10 mW Klepács Márk 10.b Debrecen, Mechwart András Gépipari és Informatikai SzKI. Témavezető: Takács Máté 1
2
Típusai Taguchi Pellisztor
Veszélyes gázok érzékelése pl.: CO, Ammónia, NO Félvezető vezetőképességének változásának mérése fém-oxidok(SnO2, TiO2, ZnO, WO3) Éghető gázok érzékelésére pl.: Metán, Propán, Bután Gáz égése során felszabaduló hő mérése Katalizátor jelenléte 2
3
Taguchi szenzor felépítése
Felülnézeti kép MEMS Micro Electro-Mechanical Systems keresztmetszet Arany Mérőelektród Platina Fűtőszál WO3 SiO2 Si3N4 SiO2 Si
4
WO3 Érzékenyítő anyag
5
Mérés Tokozás Kikötés 5
6
Gázpalackok Mérés Gázadagoló rendszer Mérőcella számítógép 6
7
Mérési eredmények Szintetikus levegőben ammónia (100ppm) érzékelése
ammónia megkötődése a WO3 felületén ellenállás csökken Gyors válaszjel
8
Köszönöm a figyelmet!
Hasonló előadás
