Előadást letölteni
Az előadás letöltése folymat van. Kérjük, várjon
1
Klepács Márk 10.b Debrecen, Mechwart András Gépipari és Informatikai SzKI. Témavezető: Takács Máté Módszerek: Reakcióhő mérése alapján Vezetőképesség változása alapján Gázok eltérő hővezetése alapján Miniatürizálás ~3W 5-10 mW
2
Típusai Éghető gázok érzékelésére pl.: Metán, Propán, Bután Gáz égése során felszabaduló hő mérése Katalizátor jelenléte Veszélyes gázok érzékelése pl.: CO, Ammónia, NO Félvezető vezetőképességének változásának mérése fém-oxidok(SnO 2, TiO 2, ZnO, WO 3 )
3
Taguchi szenzor felépítése MEMS Micro Electro-Mechanical Systems Si SiO 2 Si 3 N 4 SiO 2 Platina Fűtőszál Arany Mérőelektród WO 3 keresztmetszet Felülnézeti kép
4
WO 3 Érzékenyítő anyag
5
Mérés TokozásKikötés
6
Mérés számítógép Gázadagoló rendszer Gázpalackok Mérőcella
7
Ammónia Szintetikus levegő Szintetikus levegőben ammónia (100ppm) érzékelése ammónia megkötődése a WO 3 felületén ellenállás csökken Gyors válaszjel Mérési eredmények
8
Köszönöm a figyelmet!
Hasonló előadás
