Röntgensugaras ellenőrzés Kovács Róbert Budapest 2004.12.07.

Röntgensugaras ellenőrzés Röntgensugárzás Áthatolóképesség <-> Röntgenfoton energiája frekvenciája( ) hullámhossza (h= Planck áll.) Keletkezése: fékezési sugárzás, karakterisztikus sugárzás. Kovács Róbert Röntgensugaras ellenőrzés 2/25

Röntgensugaras vizsgálat elve céltárgy elektronsugár gerjesztés izzó katód röntgencső röntgensugár vizsgált minta anyaghiány eltérő intenzitású röntgensugár detektor Kovács Róbert Röntgensugaras ellenőrzés 3/25

Röntgensugaras ellenőrzés Képminőség Nagyítás A képminőségre és a nagyításra hatással vannak: a minta paraméterei, a röntgencső feszültsége és a fűtőáram, a detektor felbontóképessége, a fókuszpont mérete, a sugárforrás és a detektor távolsága, a vizsgált tárgy és a detektor távolsága. Kovács Róbert Röntgensugaras ellenőrzés 4/25

Geometriai nagyítás szemléltetése detektor minta fókusz Kovács Róbert Röntgensugaras ellenőrzés 5/25

Röntgenmikroszkópok csoportosítása Gyártósorba helyezhetőség alapján: In line, Off line. Röntgencső alapján: nyitott röntgencsöves (open tube), zárt röntgencsöves (closed tube). Detektor alapján: indirekt detektor, direkt detektor. Munkadarab pozícionálási rendszer alapján: 2D, többtengelyű (Off axis). Képalkotás alapján: 2D laminográfiás, 3D (Computed Tomography). Kovács Róbert Röntgensugaras ellenőrzés 6/25

Röntgencső Nyitott cső (open tube) Zárt cső (closed tube) berillium ablak transzmisszív céltárgy izzó katód izzó katód elektronágyú elektronsugár reflexív céltárgy vákuumcső vákuumcső röntgensugár röntgensugár Kovács Róbert Röntgensugaras ellenőrzés 7/25

Röntgenmikroszkópok csoportosítása Gyártósorba helyezhetőség alapján: In line, Off line. Röntgencső alapján: nyitott röntgencsöves (open tube), zárt röntgencsöves (closed tube). Detektor alapján: indirekt detektor, direkt detektor. Munkadarab pozícionálási rendszer alapján: 2D, többtengelyű (Off axis). Képalkotás alapján: 2D laminográfiás, 3D (Computed Tomography). Kovács Róbert Röntgensugaras ellenőrzés 8/25

Röntgensugaras ellenőrzés Detektor Indirekt detektor Direkt detektor szcintillátor röntgensugár szcintillátor elektródák fotoelektronok látható fény tárgy kiolvasás röntgensugár optikai lencse adatok foszfor réteg TFT réteg időzítés, vezérlés Kovács Róbert Röntgensugaras ellenőrzés 9/25

Röntgenmikroszkópok csoportosítása Gyártósorba helyezhetőség alapján: In line, Off line. Röntgencső alapján: nyitott röntgencsöves (open tube), zárt röntgencsöves (closed tube). Detektor alapján: indirekt detektor, direkt detektor. Munkadarab pozícionálási rendszer alapján: 2D, többtengelyű (Off axis). Képalkotás alapján: 2D laminográfiás, 3D (Computed Tomography). Kovács Róbert Röntgensugaras ellenőrzés 10/25

Röntgensugaras ellenőrzés Döntött képalkotás Detektor döntése Minta döntése detektor minta röntgencső Kovács Róbert Röntgensugaras ellenőrzés 11/25

Dage gyártmányú XiDAT 6600 típusú röntgenmikroszkóp Műszaki jellemzői: nyitott röntgencső, indirekt, dönthető detektor röntgencső paraméterei: 30-160 kV, 0-3 W, berendezés tömege: 1950kg, mérete: 1,6x1,93x1,91mxm, Minta maximális mérete: 508 x 444 mmxmm, a vizsgálható maximális terület: 458 x 407 mmxmm, a minta maximális tömege: 5kg, a detektor mozgatása: döntés: 45o, forgatás: 360o. Kovács Róbert Röntgensugaras ellenőrzés 12/25

Az XiDAT 6600 típusú készülék felépítése figyelmeztető jelzés detektor pozícionáló detektor minta tartó röntgencső minta pozícionáló vezérlő számítógép nyomás távadó szervomotorok vezérlője turbomolekuláris szivattyú rotációs szivattyú nagyfeszültségű tápegység Kovács Róbert Röntgensugaras ellenőrzés 13/25

A szerelőlemezre beültetett BGA tok bump kötéseinek vizsgálata fémezett falú furat rövidzárak zárványok huzalozási pálya Kovács Róbert Röntgensugaras ellenőrzés 14/25

A szerelőlemezre beültetett BGA tok bump kötéseinek vizsgálata bumpok nyitott kötés Kovács Róbert Röntgensugaras ellenőrzés 15/25

A szerelőlemezre beültetett DIP tok kötéseinek vizsgálata vezetőpályák törött kötés Kovács Róbert Röntgensugaras ellenőrzés 16/25

Mikrohuzal kötések vizsgálata chip többrétegű nyomtatott huzalozású lemez szakadt mikrohuzalok Kovács Róbert Röntgensugaras ellenőrzés 17/25

Mikrohuzal kötések vizsgálata chip tartó chip mikrohuzal szakadás golyós mikrohuzalkötés ékes mikrohuzalkötés Kovács Róbert Röntgensugaras ellenőrzés 18/25

Mikrohuzal kötések vizsgálata (átmérő 25mm) huzalkötés ismétlések golyós mikrohuzalkötés chip Kovács Róbert Röntgensugaras ellenőrzés 19/25

Mikrohuzal kötések vizsgálata hibás golyós mikrohuzalkötés golyós mikrohuzalkötés chip Kovács Róbert Röntgensugaras ellenőrzés 20/25

Vezetőpályák vizsgálata fémezett falú furat többrétegű nyomtatott huzalozású lemez vezetőpálya sérülés belső rétegen Kovács Róbert Röntgensugaras ellenőrzés 21/25

Vezetőpályák vizsgálata felületszerelt ellenállás nyomtatott huzalozású lemez bemaródások a vezetőpályán Kovács Róbert Röntgensugaras ellenőrzés 22/25

Vezetőpályák vizsgálata vezetőpálya sérült fémezett falú furat nyomtatott huzalozású lemez Kovács Róbert Röntgensugaras ellenőrzés 23/25

Mechanikai szerkezetek vizsgálata 9o induktivitás nem kívánatos alkatrész elmozdulás nyomtatott huzalozású lemez fröccssajtolt tok Kovács Róbert Röntgensugaras ellenőrzés 24/25

Mechanikai szerkezetek vizsgálata beégett érintkezők VÉGE Kovács Róbert Röntgensugaras ellenőrzés 25/25