CMOS kompatibilis termikus szenzor Integrált mikrorendszerek Dr. Székely Vladimír november Integrált mikrorendszerek Dr. Székely Vladimír november
VT = 1.6 mV/K, = 0.54%/K. MOS jellemzők
Áram kimenetű hőmérséklet szenzor
Az érzékenység
V C tápfeszültség függése
Frekvencia kimenetű változat
Frekvencia a hőmérséklet függvényében
Experiment No Process ES2 ECPD10 AMS AMS AMS AMS Feature size, m Number of samples m( ) rel ( ) m(f), kHz rel (f) V DD dependence o C/V no data on the same chip 2 V DD =5V, T=20 o C Stabilitás, statisztika
Vizsgálat széles hőmérséklet tartományban
Beépített termikus teszt a BS áramkörrel
Felhasználás egy termikus teszt chipben