Poisson egyenlettől az ideális C-V görbéig C V. Poisson egyenlet.

Az előadások a következő témára: "Poisson egyenlettől az ideális C-V görbéig C V. Poisson egyenlet."— Előadás másolata:

1 Poisson egyenlettől az ideális C-V görbéig C V

2 Poisson egyenlet

3 Potenciálgát, tömbpotenciál (Fermi-potenciál)

4 Első deriválttal való szorzás: Integrálás:

5 A felületi térerő (E s ) adódik, mint a felületi potenciálgát (sávgörbülés,  s ) függvénye

6 A félvezetők fizikájában alapvető fontosságú F(  s ;  F ) függvény. A függőleges tengelyen a függvényérték, vagyis Q sc / 9x1 0 - 12 As / cm 2 (logaritmikus ábrázolásban), a vízszintes tengelyen a  s felületi potenciálgát N félvezetőre (az adalékolás 2.5x10 15 /cm 3, a tömbpotenciál  F = 0.31 V)

7

8 Az F(  s  F ) függvény segítségével a szilícium felület egységére eső töltés is kifejezhető: ahol a 2qn i L Di szorzat értéke szobahőmérsékleten szilíciumra 9x10 -12 As/cm 2 A tértöltés kapacitás a töltés deriváltja:

9 Töltések és a potenciál megoszlása ideális MOS rendszeren

10 Az ideális C-V görbe a potenciálgát értékével, mint paraméterrel C V

11 A Berglund integrál C V

12 Az ideális Q-V görbe

13 Összefüggés az ideális Q-V görbe és az ideális C-V görbe között Ellenőrzés: Lineáris fgv. + potenciálgát