Az előadás letöltése folymat van. Kérjük, várjon

Az előadás letöltése folymat van. Kérjük, várjon

3. gyakorlat Készítette: Földváry Árpád

Hasonló előadás


Az előadások a következő témára: "3. gyakorlat Készítette: Földváry Árpád"— Előadás másolata:

1 3. gyakorlat Készítette: Földváry Árpád

2 Földváry ÁrpádNapelemek - 3. gyakorlat2/31 Litográfia

3 Földváry ÁrpádNapelemek - 3. gyakorlat3/31 Negatív litográfia Negatív lakk: - A szeleten kialakuló ábra ellentétes a maszk ábrával. - Ott oldható a lakk, ahol nem lett megvilágítva. U V fény Előhívás után megmaradt lakk Ablak Megvilágított terület a lakkon Árnyékolt terület a lakkon Ábra a maszkon Si szelet Lakk Oxid Lakk Oxid Si szelet

4 Földváry ÁrpádNapelemek - 3. gyakorlat4/31 Pozitív litográfia Pozitív lakk: - A szeleten kialakuló ábra megegyezik a maszk ábrával. - Ott oldható a lakk, ahol meg lett világítva. photoresist silicon substrate oxide silicon substrate photoresist U V fény Előhívás után megmaradt lakk Árnyékolt terület a lakkon Megvilágított terület a lakkon Ábra a maszk Ablak Si szelet Lakk Oxid Lakk Oxid Si szelet

5 Földváry ÁrpádNapelemek - 3. gyakorlat5/31 Fotolitográfia lépései 7 ) Előhívás ellenőrzése 5 ) Előhívás 6 ) Beégetés UV fény Maszk 4) Pozícionálás, megvilágítás Lakk 2) Lakk felcentrifugálása 3) Beszárítás 1) Nedvesség eltávolítása

6 Földváry ÁrpádNapelemek - 3. gyakorlat6/31 Z Y X  Lakk adagoló fúvóka Megfolyt hátoldali lakk eltávolítás (EBR) Vákuum Vákuumos szelettartó Motor Szelet Levegő elszívás Maradék lakk elvezetése Lakk áramlás Rozsdamentes acél tál Áramló levegő 4 dimenzióban mozgatható fúvóka Lakkfelvitel eszközei

7 Földváry ÁrpádNapelemek - 3. gyakorlat7/31 Fotolitográfiai gyártósor

8 Földváry ÁrpádNapelemek - 3. gyakorlat8/31 Vákuumtechnika

9 Földváry ÁrpádNapelemek - 3. gyakorlat9/31 Vákuumrendszer általános felépítése

10 Földváry ÁrpádNapelemek - 3. gyakorlat10/31 Elővákuum létrehozása: Forgólapátos szivattyú Szívási sebesség 1-300m 3 /óra Végvákuum: - 0,1mbar (egyfokozatú) - 0,001 mbar (kétfokozatú)

11 Földváry ÁrpádNapelemek - 3. gyakorlat11/31 Elővákuum mérése: Termopár Mérési elv a hővezetésen alapul Méréshatár: 0,001mbar Szál elkoszolódhat, kiéghet Lassú

12 Földváry ÁrpádNapelemek - 3. gyakorlat12/31 Elővákuum mérése: Pirani mérő Legelterjedtebb Méréshatár: 2-0,001mbar Gyors W szál elkoszolódhat, kiéghet

13 Földváry ÁrpádNapelemek - 3. gyakorlat13/31 Nagyvákuum létrehozása: Diffúziós szivattyú Nagyon elterjedt Egyszerű felépítés Könnyen tisztítható, javítható Szívási sebesség mérettől függ: l/s Végvákuum: ~10 -8 mbar

14 Földváry ÁrpádNapelemek - 3. gyakorlat14/31 Nagyvákuum létrehozása: Diffúziós szivattyú

15 Földváry ÁrpádNapelemek - 3. gyakorlat15/31 Nagyvákuum létrehozása: Turbómolekuláris szivattyú Nagyon elterjedt Szívási sebesség mérettől függ: l/s Végvákuum: ~ mbar

16 Földváry ÁrpádNapelemek - 3. gyakorlat16/31 Nagyvákuum mérése: ionizációs vákuummérő Széles mérési tartomány: – mbar Egyszerű Kiéghet a fűtött katód

17 Földváry ÁrpádNapelemek - 3. gyakorlat17/31 Nagyvákuum mérése: ionizációs vákuum mérő

18 Földváry ÁrpádNapelemek - 3. gyakorlat18/31 Nagyvákuum mérése: Penning vákuummérő Nincs fűtött katód, nem éghet ki Kisebb pontosság Mérési tartomány: ~10 -8 mbar-ig

19 Földváry ÁrpádNapelemek - 3. gyakorlat19/31 Fémréteg leválasztási módszerek

20 Földváry ÁrpádNapelemek - 3. gyakorlat20/31 CVD reaktor Hordozó Vékony réteg 8) Melléktermék eltávolítás 1) Reagens felhő Melléktermék 2) Előreakciók 3) Gáz molekulák diffúziója 4) Vegyület abszorpciója 5) A vegyület bediffundál a hordozóba 6) Felületi reakciók 7) Melléktermékek deszorpciója Elszívás Gáz befújás CVD (Chemical Vapor Deposition)

21 Földváry ÁrpádNapelemek - 3. gyakorlat21/31 Három zónás fűtés Termoelemek Nyomás mérő Kifújás a vákuum szivattyúhoz Gáz bemenet Termoelemek LPCVD (Low Pressure Chemical Vapor Deposition)

22 Földváry ÁrpádNapelemek - 3. gyakorlat22/31 Katódporlasztás

23 Földváry ÁrpádNapelemek - 3. gyakorlat23/31 Vákuumgőzölés

24 Földváry ÁrpádNapelemek - 3. gyakorlat24/31 Vákuumgőzölés módjai A gőzölés történhet: Huzalról Tégelyből Csónakból Elektron sugárral A tartó anyaga lehet: Wolfram (W), Bór-nitrid (BN) Tantál (Ta), Molibdén (Mo).

25 Földváry ÁrpádNapelemek - 3. gyakorlat25/31 Elektronsugaras gőzölés

26 Földváry ÁrpádNapelemek - 3. gyakorlat26/31 Vákuumgőzölő

27 Földváry ÁrpádNapelemek - 3. gyakorlat27/31 Rezgőkvarcos rétegvastagság mérő

28 Földváry ÁrpádNapelemek - 3. gyakorlat28/31 Kontaktusréteg kialakítása

29 Földváry ÁrpádNapelemek - 3. gyakorlat29/31 Kontaktus réteg a, szitanyomtatással felvitt vezető réteg b, lézerbevágásos, eltemetett kontaktus kémiai fémréteg leválasztással

30 Földváry ÁrpádNapelemek - 3. gyakorlat30/31 Szitanyomtatással felvitt vezetőréteg

31 Földváry ÁrpádNapelemek - 3. gyakorlat31/31 Eltemetett vezetőréteg


Letölteni ppt "3. gyakorlat Készítette: Földváry Árpád"

Hasonló előadás


Google Hirdetések