Az előadás letöltése folymat van. Kérjük, várjon

Az előadás letöltése folymat van. Kérjük, várjon

Elektrokróm rétegek Kártyás Bálint MFA nyári iskola Puskás Tivadar Távközlési Technikum.

Hasonló előadás


Az előadások a következő témára: "Elektrokróm rétegek Kártyás Bálint MFA nyári iskola Puskás Tivadar Távközlési Technikum."— Előadás másolata:

1 Elektrokróm rétegek Kártyás Bálint MFA nyári iskola Puskás Tivadar Távközlési Technikum

2 Bevezetés -Mi az elektrokróm effektus? -Reakítv porlasztás -Rétegek minősitése -Összefoglalás, következtetés

3 -Chromos (görög) = szín -Egy anyag színe változhat többféle hatásra (termo, foto, piezo …) -Elektrokromizmus: színváltozás elektromos potenciál hatására -Ismert anyagcsoportok, amelyeken ilyen hatás fellép: a.szerves pigmentek (reverzibilis redox reakciók) b.vezető polimerek (polaron képződés) c.fémoxidok Mi az elektrokróm effektus?

4 -Kijelzők -Tükrök és üvegek („Smart windows”) -Autóipar -Optikai szűrők Alkalmazási területek

5 Építészeti alkalmazás

6 Az eszköz keresztmetszete Mo vagy W oxid aktív réteg Elv: reverzibilis elektrokémiai reakció a MoO 3 rétegben

7 -Önfenntartó kisülés (plazma) – DC, RF -Reaktív: oxigén szerepe -Paraméterek: gáznyomás, teljesítmény, munkatávolság -Magnetron elve: ionizációs hatásfok növelése, „sűrűbb” plazma MoO 3 rétegépítés : reaktív magnetron porlasztás

8 A rétegleválasztó berendezés

9 Leválasztott rétegek minősítése -Rétegvastagság mint a fő porlasztási paraméterek (gázarány, teljesítmény ) függvénye -Optikai tulajdonságok (transzmisszió) -Kristályszerkezet, sávszerkezet – XRD, SEM, TEM, PL …

10 Kiértékelés I. – Rétegépülési sebesség leírása G=konstans S=aP+b a=k 1 G+k 2 b=k 3 G+k 4 S=(k 1 G+k 2 )P+k 3 G+k 4 S:[nm/ciklus] P:[W] G: % m/m

11 Kiértékelés I. – Rétegépülési sebesség leírása Mérési pontok eloszlásaIllesztett függvény

12 Kiértékelés II. - Transzmisszió MoO 3 rétegek transzmissziós spektrumai -Sávél változása -Sávél felett: reflexió miatti minimumok- maximumok -Kiértékelt spektrumok -Tiltott sáv függése a leválasztási paraméterektől Transzmisszió % (1/d(lnI/I 0 )E g ) 2

13 Összefoglalás -Reaktív porlasztással választottam le MoO 3 rétegeket -Rétegépülési sebesség leírása illesztett tapasztati függvénnyel -Transzmissziós tulajdonságok mérése

14 Köszönöm a figyelmet!


Letölteni ppt "Elektrokróm rétegek Kártyás Bálint MFA nyári iskola Puskás Tivadar Távközlési Technikum."

Hasonló előadás


Google Hirdetések