Az előadás letöltése folymat van. Kérjük, várjon

Az előadás letöltése folymat van. Kérjük, várjon

1 Mikroelektronikai szeletkötések kialakítása és vizsgálata Készítette: Borszuk Adrienn Vetési Albert Gimnázium, Veszprém Vezető: Kárpáti Tamás 2011. június.

Hasonló előadás


Az előadások a következő témára: "1 Mikroelektronikai szeletkötések kialakítása és vizsgálata Készítette: Borszuk Adrienn Vetési Albert Gimnázium, Veszprém Vezető: Kárpáti Tamás 2011. június."— Előadás másolata:

1 1 Mikroelektronikai szeletkötések kialakítása és vizsgálata Készítette: Borszuk Adrienn Vetési Albert Gimnázium, Veszprém Vezető: Kárpáti Tamás június 27 – július 1. MFA Nyári Iskola

2 2 Kapacitív nyomásmérő kialakításának folyamata mikrotechnológiai szeletkötéssel Si szelet Si szelet üveg szelet üveg szelet bondolás darabolás chip tokozás

3 3 Anódos szeletkötés  Üveg szelet Borofloat 33, 500µm vastagság  Si szelet Az üvegben, az elmozduló Na + ionok helyhez kötött negatív töltésű oxigén molekulákat hagynak hátra. Ezáltal a két szelet között elektrosztatikus vonzó erő jön létre.

4 4 Alkalmazott berendezések

5 5 Összekötött szeletpár

6 6 Illesztés, hibajelenségek Newton gyűrűk Szeletillesztés Lyukas membrán

7 7 A kötés paraméterei: - Hőmérséklet: 200 °C - Feszültség: V - Idő: 40 min - Vákuum: mbar - Présnyomás: 1000 mbar A kötés erőssége szakítószilárdság méréssel: 34 MPa (1 chip)

8 8 MEMS kapacitív nyomásmérő  100°C feletti működés  1000 mbar alatti méréstartomány  kapacitív mérési elv

9 9 Köszönöm a figyelmet! Köszönetnyilvánítás Az MFA-nak a Nyári Iskola lehetőségéért; Daróczi Csaba Sándornak a segítségéért; mentoromnak, Kárpáti Tamásnak; Erős Magdolnának; és a Mikrotechnológiai osztály összes dolgozójának.


Letölteni ppt "1 Mikroelektronikai szeletkötések kialakítása és vizsgálata Készítette: Borszuk Adrienn Vetési Albert Gimnázium, Veszprém Vezető: Kárpáti Tamás 2011. június."

Hasonló előadás


Google Hirdetések