Az előadás letöltése folymat van. Kérjük, várjon

Az előadás letöltése folymat van. Kérjük, várjon

1 BIOMIMETIKA BIOMIMETIKA Szuperhidrofób felületek kialakítása mikromegmunkálással Orbán Károly László Andrei Muresanu Főgimnázium Témavezetők: Pardy Tamás,

Hasonló előadás


Az előadások a következő témára: "1 BIOMIMETIKA BIOMIMETIKA Szuperhidrofób felületek kialakítása mikromegmunkálással Orbán Károly László Andrei Muresanu Főgimnázium Témavezetők: Pardy Tamás,"— Előadás másolata:

1 1 BIOMIMETIKA BIOMIMETIKA Szuperhidrofób felületek kialakítása mikromegmunkálással Orbán Károly László Andrei Muresanu Főgimnázium Témavezetők: Pardy Tamás, dr. Fürjes Péter, Fekete Zoltán

2 2 BIOMIMETIKA Mi is az a lótusz-effektus? -Biomimetika – a „természet utánzása” -Lótuszvirág (paraffinszerű anyag) -Lehetőség: öntisztuló felületek Mi okozza? -Mikro-nanostrukturáltság -oszlopocskák viaszos réteggel borítva Hogyan? -Kontaktszög -Két egyensúlyi állapot: -Wenzel -Cassie-Baxter

3 3 BIOMIMETIKA

4 4 BIOMIMETIKA Mesterséges megvalósítás – Laboratóriumban Szilícium szeleten vékonyréteg mikromegmunkálással -Maszktervezés -Litográfia -3D marás: izotróp/anizotróp Anizotróp marások: Irányszelektív marás a. NaOH+hipó -0 fok, 45 fok maszk orientáció b. DRIE – Mély Reaktív Ionmarás Szuperhidrofób felület feltétele: Strukturált, hidrofób réteg (C 4 F 8 )

5 5 BIOMIMETIKA Mintapreparáció Litográfiás maszk SiO 2 Si 1.Fotolitográfia: Reziszt (~1,2 µm) 2. Oxidmarás: Tömény HF Kb. 1 µm SiO 2 3. Lúgos marás / DRIE Fotoreziszt

6 6 BIOMIMETIKA Lúgos marás, 0 fokban elforgatott maszk Lúgos marás, 45 fokban elforgatott maszk DRIE – Mély Reaktív Ionmarás Fénymikroszkópos képElektronmikroszkópos kép

7 7 BIOMIMETIKA Hidrofób réteg szerepe Szilícium hidrofób réteggel ~ ° Szilícium hidrofób réteg nélkül ~ °

8 8 BIOMIMETIKA A mikrostrukturáltság szerepe DRIE - mart Strukturált szilícium hidrofób réteggel ~ °

9 9 BIOMIMETIKA Kontaktszög – oszloptávolság összefüggése DRIE - mart Cassie-Baxter állapot

10 10 BIOMIMETIKA Köszönöm a figyelmet! Köszönöm a MEMS Labor minden dolgozójának segítőkészségét! Orbán Károly László Andrei Muresanu Főgimnázium Témavezetők: Pardy Tamás, dr. Fürjes Péter, Fekete Zoltán BIOMIMETIKA Szuperhidrofób felületek kialakítása mikromegmunkálással


Letölteni ppt "1 BIOMIMETIKA BIOMIMETIKA Szuperhidrofób felületek kialakítása mikromegmunkálással Orbán Károly László Andrei Muresanu Főgimnázium Témavezetők: Pardy Tamás,"

Hasonló előadás


Google Hirdetések