Az előadás letöltése folymat van. Kérjük, várjon

Az előadás letöltése folymat van. Kérjük, várjon

MFA Nyári Iskola - 2009. június 22-26. - Ádám Andrea 1 FOTÓLITOGRÁFIA Ádám Andrea Tamási Áron Elméleti Líceum, Székelyudvarhely Témavezetők: Vázsonyi Éva,

Hasonló előadás


Az előadások a következő témára: "MFA Nyári Iskola - 2009. június 22-26. - Ádám Andrea 1 FOTÓLITOGRÁFIA Ádám Andrea Tamási Áron Elméleti Líceum, Székelyudvarhely Témavezetők: Vázsonyi Éva,"— Előadás másolata:

1 MFA Nyári Iskola június Ádám Andrea 1 FOTÓLITOGRÁFIA Ádám Andrea Tamási Áron Elméleti Líceum, Székelyudvarhely Témavezetők: Vázsonyi Éva, Erős Magdolna

2 MFA Nyári Iskola június Ádám Andrea 2 A fotólitográfia : Foto = fényLito = kőGráfia = írás A szilícium szeletre felvitt vékonyrétegek (SiO 2, Si 3 N 4, SiN x, Al, stb…) megmunkálásának technológiája.

3 3 Az ábrakészítés folyamatai 1.Szelettisztítás 2.Dehidratálás (300 o C vagy 900 o C) 3.Adhézió növelő réteg felvitele 4.Fotoreziszt felvitele 5.Szárítás (hotplate)

4 MFA Nyári Iskola június Ádám Andrea 4 Az ábrakészítés folyamatai 6. Megvilágítás 7. Előhívás 8. Beégetés

5 MFA Nyári Iskola június Ádám Andrea 5 5  m-es szélességű vonal leképezésének vizsgálata

6 MFA Nyári Iskola június Ádám Andrea 6 5  m-es szélességű vonal leképezésének vizsgálata 4,8  m Alulvilágított Optimális Széles időtartomány áll rendelkezésünkre, ahol pontos a leképezés.

7 MFA Nyári Iskola június Ádám Andrea 7 5  m-es szélességű vonal leképezésének vizsgálata Adott tartományban a lakkvastagság nem befolyásolja a leképezés pontosságát.

8 MFA Nyári Iskola június Ádám Andrea 8 5  m-es ábra esetén az eltérés 0,1  m, ami elhanyagolható. Megfelelő: a maszkillesztő berendezés optikai rendszere a szilícium és a maszk összeszorítása kontakt állásban a lakk minősége

9 MFA Nyári Iskola június Ádám Andrea 9 Hajrá csapat!

10 MFA Nyári Iskola június Ádám Andrea 10 Köszönöm a figyelmet! Készítette: Ádám Andrea Tamási Áron Elméleti Líceum, Székelyudvarhely Témavezetők: Vázsonyi Éva, Erős Magdolna


Letölteni ppt "MFA Nyári Iskola - 2009. június 22-26. - Ádám Andrea 1 FOTÓLITOGRÁFIA Ádám Andrea Tamási Áron Elméleti Líceum, Székelyudvarhely Témavezetők: Vázsonyi Éva,"

Hasonló előadás


Google Hirdetések