Az előadás letöltése folymat van. Kérjük, várjon

Az előadás letöltése folymat van. Kérjük, várjon

2013. őszi szemeszterAnyagtudomány - I.évf. villamosmérnök Anyagtudomány - félvezetők I.évf. villamosmérnök Gyulai József emeritus professzor, akadémikus.

Hasonló előadás


Az előadások a következő témára: "2013. őszi szemeszterAnyagtudomány - I.évf. villamosmérnök Anyagtudomány - félvezetők I.évf. villamosmérnök Gyulai József emeritus professzor, akadémikus."— Előadás másolata:

1 2013. őszi szemeszterAnyagtudomány - I.évf. villamosmérnök Anyagtudomány - félvezetők I.évf. villamosmérnök Gyulai József emeritus professzor, akadémikus MTA TTK Műszaki Fizikai és Anyagtud. Intézet BME VIK Elektronikus Eszközök Tsz.

2 2013. őszi szemeszterAnyagtudomány - I.évf. villamosmérnök A mérnöki, villamosmérnöki hivatás: a világ megmentésében kulcsszereplő... Biosphere, Montreal, 1967 Buckminster Fuller építészmérnök Római Klub alapító: „Operating Manual for Spaceship Earth “ - (1969) … One outstandingly important fact regarding Spaceship Earth, and that is that no Instruction book came with it…„ …, hogy nem kaptunk hozzá Használati utasítást… A szénmódosulatot őróla nevezték el előbb „buckyball”-nak, majd ma „fullerén”-nek

3 2013. őszi szemeszterAnyagtudomány - I.évf. villamosmérnök A teljes rendszert kell vizsgálni a Földet a „napmotor” hajtja ma is (a radioaktivitásból eredő saját hő néhány százaléknyi), A nagy csoda: a felszín egyensúlyi hőmérséklete évszázmilliók óta a jég olvadáspontja körül mozog. Ha az emberiség a Napból érkező energiának 5/10000-ét hozzáteszi, bármennyire tiszta módon, már 1 o C-szal megnő! A megoldás: minél inkább napenergiát kell használni, „valós időben”, azaz „real time” A fossziliák égetésével az a fő baj, hogy az a napenergia, ami ezeket a növényeket, állatokat táplálta, százmillió évekkel korábban érkezett. A nukleáris energia, meg a geotermia jobb, mert kevesebb a mellékhatás... A bioenergia elég jó, csak rossz hatásfokú: a fotoszintézist az evolúció nem arra optimálta, hogy nekünk áramot csináljon, hanem ebben felesleges cellulózt! A „Föld űrhajó” kép meghatározó, I

4 2013. őszi szemeszterAnyagtudomány - I.évf. villamosmérnök Megoldásnak biztos a legjobb lenne, ha zárt ciklusokba tudnók szervezni a termelési-fogyasztási folyamatokat, energiagazdaságosan, amit csak lehet, napenergiával... Ekkor az ún. ökológiai lábnyom számítása, amely 4-6 Földet igényelne a mai emberiség túlélésének biztosítására – jelentősen megváltoznék: ha ui. az alapanyagok kizárólag az emberi termelésen- fogyasztáson belül forognának, azaz, a hulladék közvetlenül nyersanyagként szerepelne, akkor csak a szállításukhoz, egymásba átalakításukhoz szükséges energetika okán terhelik a Földet és szólnak bele az ökológiai lábnyom nagyságába… Ez óriási, ma még nem megoldható logisztikai feladat, ami elemésztené a felhasznált energia jelentős töredékét! Ez az anyagtudomány legnagyobb kihívása A „Föld űrhajó” kép meghatározó, II

5 2013. őszi szemeszterAnyagtudomány - I.évf. villamosmérnök A mai tudománynak egyetlen missziója van és két súlypontja lehet – ez valahol megfelel az ön- és fajfenntartás ösztönének is: 1. megkeresni annak a módozatait, hogy élhet-e, ill. hogyan 7-10 G ember a Földön – úgy is, hogy a többi élőlény is megmaradjon?… 2. emellett az egyén élettartam-növelése domináns érdeklődést vonz – a biotudományok súlya, érdekessége, 3. amely eredmények hatással vannak az első súlypontra is. Képes lesz-e a társadalom ezt az életforma receptet idejében magáévá tenni? Én az „elviselhetővé” tételt a humanióráktól, ill. kiknek-kiknek a vallástól remélem … Az alapkérdés

6 2013. őszi szemeszterAnyagtudomány - I.évf. villamosmérnök Mit tart fontosnak Európa ma? A Horizont2020 prioritások Személyre szóló egészséggondozás Fenntartható élelmiszer-biztonság „Kék” növekedés, az óceánok lehetőségeinek kutatása Intelligens városok, közösségek Versenyképes alacsony-szén energetika Energia hatékonyság Mobilitás a növekedésért Szemét: az újrafelhasználás forrása, nyersanyagok visszanyerése A víz „innováció”: az értékének hangsúlya Európa számára Kríziskezelés: új eszközök, ötletek, irányítás Katasztrófa-kezelés: védett és biztonságos társadalom A klímaváltozás hatását is beleértve Digitális biztonság

7 2013. őszi szemeszterAnyagtudomány - I.évf. villamosmérnök A hat kulcstechnológia (key enabling technologies, KET) közvetlen támogatása –nanotechnologia, –mikro- and nanoelectronika, ezen belül –félvezetők, –Modern anyagok, –Biotechnológia és –fotonika 3 kulcstechnológiát (mikro- és nanoelektronika, fotonika és biotechnológia) közvetetten is támogatják NMP Program jellemzői 2013

8 2013. őszi szemeszterAnyagtudomány - I.évf. villamosmérnök Anyagtudomány és technológia Anyagtudomány: –a fizikai, kémiai törvények alkalmazása anyagalakításra, "szerszámok" (akár atomi szinten) Technológia: –szabályrendszer, amely reprodukálhatóan rögzíti a "szerszámok" működési tartományát A technológiák jellege –lebontó – (Top-down) –építkező – (Bottom-up) A fent elmondottaknak az építkező felel meg.

9 2013. őszi szemeszterAnyagtudomány - I.évf. villamosmérnök Frontvonalak

10 2013. őszi szemeszterAnyagtudomány - I.évf. villamosmérnök Ipari trendek az anyagok világában

11 2013. őszi szemeszterAnyagtudomány - I.évf. villamosmérnök A 20. század legnagyobb hatású felfedezése A tranzisztor és az integrált áramkör Szabadalmak: Tranzisztorok, Lilienfeld (1925), Bardeen- Brattain, Shockley (1949) Integrált áramkör, Kilby (1959), Noyce (1961) CCD, Boyle, Smith (1969)

12 2013. őszi szemeszterAnyagtudomány - I.évf. villamosmérnök A mikroelektronika-közeli Nobel díjak J. Bardeen, W.H. Brattain, W. Shockley, tranzisztor (1956) L. Esaki, I. Giaever, B.D. Josephson, alagúthatás alkalmazásai (1973) K. von Klitzing, kvantum Hall-effektus is tranzisztor (1985) E. Ruska elektronmikroszkóp, G. Binnig, H. Rohrer alagútmikroszkóp (1986) Z.I. Alferov, félvezető lézer, H. Kroemer, UHF tranzisztor, optika, J. S. Kilby, Integrált áramkör (2000) W.S. Boyle és G.E. Smith, CCD szerkezet, optika, (Charles K. Kao, optikai szál) A. Geim és K. Novoselov a grafénen, mint kétdimenziós anyagon végzett alapvető kísérletekért Geim 2000-ben megkapta az IgNobel díjat is IgNobel – paródia - „first make people laugh, then make them think”: diamagnetic levitation 1T- 10T elegendő az élő szervezetek levitációjának előidézéséhez

13 2013. őszi szemeszterAnyagtudomány - I.évf. villamosmérnök A ”Moore törvény” A Fairchildból kivált Intel kezdeti sikerének „titka”: az anyacégnél kidolgozott technológiai higiéne. Ezzel elsőként tudtak –egyetlen chipen külső feszültség nélkül nyitott (növekményes), ill. zárt (kiürítéses) tranzisztorpárt gyártani kétévente kétszer annyi elem egyetlen chipen „Talán a hetvenes évek végéig sikerül…” – mondta Gordon Moore. Generikus törvény született, ami inkább üzleti, nem csak technológiai! International Technology Roadmap for Semiconductors, ITRS: négy évenkénti tanulmány, kétévenként korrekció Jelenleg 2024-ig vannak a táblázatok

14 2013. őszi szemeszterAnyagtudomány - I.évf. villamosmérnök Részlet az ITRS 2011-ből Az egyik „Nehéz feladatok” táblázat Sárga: még kell KF Piros: Nincs ismert megoldás

15 2013. őszi szemeszterAnyagtudomány - I.évf. villamosmérnök ITRS változások, 2010,

16 2013. őszi szemeszterAnyagtudomány - I.évf. villamosmérnök

17 2013. őszi szemeszterAnyagtudomány - I.évf. villamosmérnök SCM Process Integration Devices and Structures

18 2013. őszi szemeszterAnyagtudomány - I.évf. villamosmérnök STT Spin-transfer torque... PC Phase change... SCM: Storage Class Memory

19 2013. őszi szemeszterAnyagtudomány - I.évf. villamosmérnök A Moore ”törvény” ma A mai csúcs az Intelnél – kisebb, mint egy vírus! Az arányos kicsinyítés működik 2020-ig… A szilíciumon ül egy átok: Nem lehet belőle lézert készíteni De igyexik a szakma… 2000 óta kibővült a telekommunikációs, mikromechanikai, és nagyfeszültségű eszközök útitervével A ”More Moore” és ”More than Moore” fejlődés

20 2013. őszi szemeszterAnyagtudomány - I.évf. villamosmérnök Az öregedés – miniatürizálás Főleg helyi melegedések okozzák. Jól tervezett áramkörnél ennek az esélye minimális. A mikroelektronika anyagai olyan tökéletesek, hogy pl. egy vékony, szigetelő oxidrétegben elhelyezett kis szilícium-szigetre helyezett, akár egy-két elektron akár évtizedig ott marad! Nem csak kis méret, hordozhatóság, kis fogyasztás miatt fontos: a megbízhatóság is fontos elem: minél több intelligenciát kell belezsúfolni a tokba, A hibák főleg az emberrel való kommunikáláskor lépnek fel. Elérhető lépésre egyetlen tévesztés, ami ún. redundáns szervezéssel növelhető A mai tranzisztor kisebb, mint egy vírus…

21 2013. őszi szemeszterAnyagtudomány - I.évf. villamosmérnök A „More-Moore” és a „More-than- Moore” jövője Én annyira becsülöm Gordon Moore-t, hogy remélem, ha már, mondjuk, biokomputereink lesznek, akad mérnök, aki elkészíti ennek is a helyettesítő kapcsolását – hogy hány trillió kapu kellene hozzá? Hiszem, hogy a kétévenkénti 1.6-szoros komplektálódás – ebben az értelemben – érvényben marad 2020 után is… Ez arra is bizonyíték lehetne, hogy a Moore- törvény főleg gazdasági törvény, műszaki következményekkel

22 2013. őszi szemeszterAnyagtudomány - I.évf. villamosmérnök Minősített légállapot kell: 1, 10, 100-as, … Fizikailag: 2μm-nál nagyobb részecske nem lehet, 0,2 – 2 μm közötti méretűből X db/ft 3 (köbláb), nincs turbulencia MFA Infineon

23 2013. őszi szemeszterAnyagtudomány - I.évf. villamosmérnök A kutatás „forró” területei - példák Komputer-távközlés –Hordozható eszközök –Viselhető (Wear-on) –Szórt (Ambience) intelligencia (intell car, intelligens „homok”) –Akusztikai eszközök Érzékelők/beavatkozók forradalma –Akár biológiai anyagok is… –Közlekedés automatizálása Mikro- és nanotechnológia –„Energy harvesting” – energiaforrások Világítás forradalma –Világító dióda (LED), Organikus LED Az EU anyagkutatást vonzó prioritásai: –„Energy efficient buildings”, –„Green car”, –„Factory of the future”

24 2013. őszi szemeszterAnyagtudomány - I.évf. villamosmérnök A komplementer MOS, CMOS

25 2013. őszi szemeszterAnyagtudomány - I.évf. villamosmérnök Vegyületfélvezetők előnyei, prespekívái, eszközök Nagy tilos sáv, lehet ún. sávtervezés, „bandgap engineering” gyorsabbak, magasabb hőmérsékletig alkalmazhatók, sok közülük fényemisszióra is alkalmas (létrejöhet bennük sugárzásos rekombináció is) azaz Lézerek – diódák (A 3 B 5, ternér, kvaternér is) –híradástechnikában –GaN – a világítás forradalma SiGe a Si-vel SiC – magas hőmérsékletekre A 2 B 6, stb., félvezetők – napelem, De árban nem tudnak versenyezni a Si-mal

26 2013. őszi szemeszterAnyagtudomány - I.évf. villamosmérnök Az integrált áramkörök technológiái Mintegy tízféle művelet, pár-száz lépéses sora "Front end" és "Back end" Rétegépítő, Rétegeltávolító, Ábraalakító műveletek

27 2013. őszi szemeszterAnyagtudomány - I.évf. villamosmérnök „Front end” műveletek Rétegépítő technológiák –Oxidáció –Ionimplantáció –Rétegleválasztások fizikai, kémiai (Chemical Vapor Deposition, CVD) –Diffúzió Rétegeltávolító technológiák –Nedves marások –Gázfázisú – plazmával segített –Speciális marások Strukturáló technológiák –Fotolitográfia UV, DeepUV, EUV –Elektron-, ionlitográfia

28 2013. őszi szemeszterAnyagtudomány - I.évf. villamosmérnök Oxidáció Az oxid/kristály határon nő, az odadiffundáló oxigén révén Fajtái: –„Száraz” – kiváló dielektrikum, lassú növekedés –„Nedves” (vízgőz jelenlétében) – gyors növekedés, jó védőfedésre (ún. maszkolásra) Technikailag: csőkemence, vagy halogénlámpás reaktor (Rapid Thermal Processor)

29 2013. őszi szemeszterAnyagtudomány - I.évf. villamosmérnök Ionimplantáció Ionimplantáció – az adalékanyag atomjainak elektromos térrel gyorsított ionjait lövi az anyagba Részei: Ionforrás – gyorsító tér – tömegszeparálás – sepertetés – Tárgykamra Előnyei –anyagfajta kontroll - tömegszeparálással –mélység kontroll – gyorsító feszültség választásával –dózis kontroll - áramintegrátorral –adalékprofil kontroll – akár befelé növekvő Korábban: diffízióval állították be a mélységet, Ma: pontosan oda lőnek, ahol az adalék kell Mai Intel processzor gyártásában 23-szor implantálnak!

30 2013. őszi szemeszterAnyagtudomány - I.évf. villamosmérnök Ionimplanter sematikus rajza

31 2013. őszi szemeszterAnyagtudomány - I.évf. villamosmérnök Silicon-On-Insulator történet Laterális epitaxia – –„ablak” az oxidban a kristályig, –polikristályos Si, –Pl. lézeres olvasztás, –orientáció a szelettől „Trükkös” DWB: SMART CUT ©, Bruel : H-implantáció, majd felragasztás, hasítás pl. hőkezeléssel

32 2013. őszi szemeszterAnyagtudomány - I.évf. villamosmérnök Ábraalakító műveletek, I. Fotolitográfia Mint a rézkarc- technika: "reziszt", ábraalakítás maszk-technika direkt rajzolás

33 2013. őszi szemeszterAnyagtudomány - I.évf. villamosmérnök Önillesztett, implantált MOS lépések, a litográfiák hozzáképzelendők G n-tipusú szilícium Si 3 N 4 a nem-aktív területről eltávolítva nedv. ox., Si 3 N 4 marás, száraz ox. Poli-Si Al vezeték B ionok, nagy dózis, S/D SD B ionok, kis dózis, küszöbfesz. beállítás S: Forrás, D: nyelő, G: kapu Ablaknyitó oxidmarás

34 2013. őszi szemeszterAnyagtudomány - I.évf. villamosmérnök Következtetések A Moore törvény még vagy tizenöt évig... A Si fénykibocsátása fontos lenne, keresik a módozatokat (nanokristály, stb.) 10 nm-es CMOS technológia – utána kell más elv Legnehezebb a megbízhatóság teljesítése Konklúzió: Si domináns – még sokáig. Utána talán a spintronika jön, netán plazmonika Érzékelők, beavatkozók, hírközlés, Interdiszciplináris (kémia, biológia felé) fejlődés

35 2013. őszi szemeszterAnyagtudomány - I.évf. villamosmérnök Javasolom, hogy jöjjetek el az intézetet meglátogatni! bejelentkezni: Az előadás letölthető:

36 2013. őszi szemeszterAnyagtudomány - I.évf. villamosmérnök Az érzékelők/beavatkozók forradalma Microelectromechanical Systems (MEMS) A mikroelektronikai technológia - más területen, párhuzamos megmunkálás, olcsó, pontos Miniatürizálással a kezelhetőség megmarad, ha intelligenciát is belezsúfolunk - ez rendelkezésre áll Mesterséges szaglás, látás stb. – szervetlen, ill. bio- és biomimetikus rendszerek (megbízhatóság?) Miniatűr gépek Orvosi alkalmazások esetén: biokompatibilitás

37 2013. őszi szemeszterAnyagtudomány - I.évf. villamosmérnök MEMS "mikrorezsó" - pellisztor (gázérzékelő), MFA Si lemez lebeg, 2x2 áramvezeték, fűtőtest, hőmérő Erre épül a gázt elégető katalizátor, SW-rel specifikus

38 2013. őszi szemeszterAnyagtudomány - I.évf. villamosmérnök RESEARCH INSTITUTE FOR TECHNICAL PHYSICS AND MATERIALS SCIENCE -MFA, BUDAPEST SENSOR AND MICROTECHNOLOGY LABORATORY Fűtőtest Hőmérő Gázáramlásmérő Tapintás érzékelő

39 2013. őszi szemeszterAnyagtudomány - I.évf. villamosmérnök MFA PPKE Tactologic Taktilis, tapintás-érzékelő; agyi elektród - kanüllel

40 2013. őszi szemeszterAnyagtudomány - I.évf. villamosmérnök Az MFA MEMS választéka

41 2013. őszi szemeszterAnyagtudomány - I.évf. villamosmérnök "Klasszikus" CMOS-tól a "CMOS-on túli" felé A klasszikus fejlesztése (90nm, 2010-ig) –ultravékony SOI – Silicon-On-Insulator –szeleten átmenő kontaktus –nagy és kis dielektromos állandó Nem-klasszikus (45-23 nm, ) –3D integráció –Több kapus tranzisztorok –RF chipen belüli forgalom Új modulok (22-15 nm, ) –nanovezeték, nanocső –optikai forgalom a chipen belül CMOS-on túli új eszközök, architektúrák (2018 után?) –Molekuláris eszközök –spin eszközök –molekuláris komputer –kvantumkomputer

42 2013. őszi szemeszterAnyagtudomány - I.évf. villamosmérnök Kvantumkomputer – spintronika (Courtesy of D. Jamieson, Melbourne)

43 2013. őszi szemeszterAnyagtudomány - I.évf. villamosmérnök A kvantumkomputer A „qubit” kvantummechanikai fogalom, amely összekapcsolt részecskéket jelöl. Az öt fluor és a két szén hét qubitje képes 15-öt faktorizálni: 3.5=15 Rádióhullámok indítják a gépet, NMR olvassa ki az eredményt 2012: Szupravezető qubit stabilizálás (10 μ s), Si- technológiával! IBM Research Dicarbonylcyclopenta dienyl (perfluorobutadien-2- yl) iron (C11H5F5O2Fe ) (ill. pentafluorobutadienyl cyclopentadienyldicar bonyl-iron complex)

44 2013. őszi szemeszterAnyagtudomány - I.évf. villamosmérnök Kétségeim – I Az emberiség termeléssel és logisztikai elosztással dolgozik – milyen lesz a nanogyár? Minőségellenőrzés –Ma: az ún. Total Quality Management, TQM, a cél, –A biorendszerek "minőségellenőrzése" az evolúció: 1.a ön-reprodukció, 2.a véletlen mutációk (ez a "majdnem selejt"), 3.a 'minőség' a természetes kiválogatódás révén A nanotechnológiai analóg nincs kitalálva –Lehet-e a minőségellenőrzés valamiféle 'gyorsított evolúció'? A mai, pl. gyógyszergyártási minőségellenőrzése nem lehet elég pl. a kvantumkomputer "gyártásához": –nem maradhatnak inaktív, nem szenzibilizált molekulák, –térben szervezetten kell létrejönniük (megtalálható – címezhető)

45 2013. őszi szemeszterAnyagtudomány - I.évf. villamosmérnök Kétségeim – II A biológiai rendszerben a redundancia óriási foka miatt jön létre valamiféle "megbízhatóság"-gal analóg folyamat, pl. az agy plaszticitása… de ez, pl. a repülőgépünk vezérlőegységében aligha megnyugtató… A "nanogyár"-ban vajon minimálhatjuk-e a zaj (káosz) hatását, pláne, szobahőmérsékleten? –Mi lesz a "laissez passer"-vel? Ez jelentősen korlátozhatja a nem-direkt biológiai-orvosi nanotermékek körét.

46 2013. őszi szemeszterAnyagtudomány - I.évf. villamosmérnök A nanotechnológia módszerei, I. Pásztázó szondák, Kísérlet, egyes atomok mozgatására

47 2013. őszi szemeszterAnyagtudomány - I.évf. villamosmérnök Nanomegmunkálás fokuszált ionnyalábbal, és vezérelt CVD- vel (LEO gym., MFA-ban) MFA rekord: 20nm pórus FIB – DNS átfért rajta, „Pungor Ernő díj”, Gyurcsányi Róbert, BME

48 2013. őszi szemeszterAnyagtudomány - I.évf. villamosmérnök Grafén – az új Nobel-díjas „izgalom” » Pásztázó szondák, MFA: „plazmapisztoly ” Junior Prima-díjak az MFA-ban: Tapasztó Levente, 2008 Nemes-Incze Péter, 2010 (Biró László Péter tanítványai)

49 2013. őszi szemeszterAnyagtudomány - I.évf. villamosmérnök Grafén alakítása (Biró L.P. és mtsai)

50 2013. őszi szemeszterAnyagtudomány - I.évf. villamosmérnök "Nanodrót" átvezetések, fantomkép ZnO nanokristályok – energiaforrás, „energy harvesting”, Volk J., MFA

51 2013. őszi szemeszterAnyagtudomány - I.évf. villamosmérnök A nanotechnológia nem-informatikai ágai A pásztázó szondás módszerek – mint preparatív technika, előkísérletekre jó lehet Kémiai - biológiai: katalízis, a fullerén-, szén nanocső, bio-rendszerek, polimérek, kompozitok, biomimetika, peptidek, nanomedicina Önszerveződéssel nanostrukturált tömbi anyagok, fémek, kompozitok, kerámiák, dielektrikumok Végső cél: az élővilág napenergiára alapozott "preparatív technikáját" a szervetlen világban alkalmazni, a kódolás-kiválogatódás ottani elveit megkeresni

52 2013. őszi szemeszterAnyagtudomány - I.évf. villamosmérnök Megbizhatóság (Swiss Fed. Labs for Matl.s Testing and Res.) A nem-skálázó fizikai folyamatok – tömeg és hődiffúzió, elektromos vezetőképesség, reakciókinetika, korróziós folyamatok, stb. Fáradás, súrlódás, fáradás, javítási mechanizmusok mások az atomi és molekuláris léptékben. Redundancia, a kvantumállapotok korrelációja is kvantumstatisztika- és hulláminterferencia-függő Modellezés, kutatásigényes Hibatűrő megoldások igénye

53 2013. őszi szemeszterAnyagtudomány - I.évf. villamosmérnök Nano-bio: E.Coli baktérium forgó zászlója /perc, proton-ugrás, nanomotor

54 2013. őszi szemeszterAnyagtudomány - I.évf. villamosmérnök Először a csapágy alakul ki, majd egy fúró keletkezik és átfúrja a sejtfalat ezt a tengely követi majd a csilló kezd nőni A ötujjú tető gondoskodik arról, hogy a plazma ne szóródjék a vízbe Nanomotor, Coli baktérium flagellum (csilló) Keiichi Namba (Osaka) és Vonderviszt Ferenc (PTE) engedélyével

55 2013. őszi szemeszterAnyagtudomány - I.évf. villamosmérnök Animáció (mikroszkópia- alapú) Keiichi Namba és Vonderviszt Ferenc (VE)

56 2013. őszi szemeszterAnyagtudomány - I.évf. villamosmérnök Javasolom, hogy jöjjetek el az intézetet meglátogatni! bejelentkezni: Az előadás letölthető:


Letölteni ppt "2013. őszi szemeszterAnyagtudomány - I.évf. villamosmérnök Anyagtudomány - félvezetők I.évf. villamosmérnök Gyulai József emeritus professzor, akadémikus."

Hasonló előadás


Google Hirdetések