IBRIKSZ TAMÁS Fókuszvariációs 3D felületi topográfiai mikroszkóp gyakorlati alkalmazása

Az előadások a következő témára: "IBRIKSZ TAMÁS Fókuszvariációs 3D felületi topográfiai mikroszkóp gyakorlati alkalmazása"— Előadás másolata:

1 IBRIKSZ TAMÁS Fókuszvariációs 3D felületi topográfiai mikroszkóp gyakorlati alkalmazása ibriksz@sze.hu

2 - Alicona InfiniteFocus 3D fókuszvariációs mikroszkóp működése - Alkalmazási példák 2016. Június 1.2 Bevezetés/Tartalom Ibriksz Tamás – ibriksz@sze.hu

3 - Alicona InfiniteFocus mikroszkóp 2016. Június 1.3 Ismertetés Ibriksz Tamás – ibriksz@sze.hu

4 - Mélységélesség (DOF) 2016. Június 1.4 Fókuszvariáció, működési elv Ibriksz Tamás – ibriksz@sze.hu

5 1 - szenzor 2 - lencsék 3 - fényforrás 4 - tükör 5 - objektív 6 - minta 7 - vertikális pásztázás 8 - fókusz görbe 9 - fény nyaláb 10 - analizátor 11 - polarizátor 12 - körfény 2016. Június 1.5 Fókuszvariáció, működési elv Ibriksz Tamás – ibriksz@sze.hu

6 - Joystick mozgatása vagy távolság megadása 2016. Június 1.6 Működés, irányítás Ibriksz Tamás – ibriksz@sze.hu

7 - Alsó- és felső határ (fókuszsík) beállítása 2016. Június 1.7 Fókuszvariáció, működési elv Ibriksz Tamás – ibriksz@sze.hu

8 - felületi 3D modell 2016. Június 1.8 Működés Ibriksz Tamás – ibriksz@sze.hu

9 2016. Június 1.9 Működés, paraméterek Ibriksz Tamás – ibriksz@sze.hu Mozgatási távolság (X-Y-Z)mm100 Max. terhelhetőségkg35 (tárgyasztal szélén: 8-13) Objektív 2.5x5x10x20x50x100x Laterális optikai felbontásµm5,62,21,10,80,60,4 Max. szkennelési magasságmm822161293,2 Függőleges felbontás (low speed)nm2 300410100502010 Függőleges felbontás (high speed)nm47 1008 2002 0001 000400200 Szkennelési sebesség (low)µm/s2051,30,50,20,08 Szkennelési sebesség (high)µm/s400120301552,5 Munkatávolságmm8,825,517,313,010,13,5 Látómező Xµm5 7162 8581 429715286143 Látómező Yµm4 3512 1751 088544218109 Max. látómező (mozaik)mm 2 10 000 3 20080013035

10 - Modulok (érdességmérés) 2016. Június 1.10 Működés Ibriksz Tamás – ibriksz@sze.hu Ra=5,994 µm

11 - Modulok (profilmérés) 2016. Június 1.11 Működés Ibriksz Tamás – ibriksz@sze.hu ~265 µm ~7,87 mm

12 - 3D nyomtatott fröccsöntő szerszámbetét kopása 2016. Június 1.12 Példák Ibriksz Tamás – ibriksz@sze.hu

13 - 2016. Június 1.13 Példák Ibriksz Tamás – ibriksz@sze.hu ~80 µm

14 - 2016. Június 1.14 Példák Ibriksz Tamás – ibriksz@sze.hu

15 - Mikroszikraforgácsolt kerámia vizsgálata 2016. Június 1.15 Példák Ibriksz Tamás – ibriksz@sze.hu

16 - profil 2016. Június 1.16 Példák Ibriksz Tamás – ibriksz@sze.hu ~22 µm

17 - profil 2016. Június 1.17 Példák Ibriksz Tamás – ibriksz@sze.hu ~66 µm

18 - Turbinalapát replika vizsgálata (mintalevétel) 2016. Június 1.18 Példák Ibriksz Tamás – ibriksz@sze.hu

19 - Turbinalapát replika 2016. Június 1.19 Példák Ibriksz Tamás – ibriksz@sze.hu

20 - 2016. Június 1.20 Példák Ibriksz Tamás – ibriksz@sze.hu

21 - 2016. Június 1.21 Példák Ibriksz Tamás – ibriksz@sze.hu ~137 µm

22 - Kazánreplika 2016. Június 1.22 Példák Ibriksz Tamás – ibriksz@sze.hu

23 - Kazánreplika 2016. Június 1.23 Példák Ibriksz Tamás – ibriksz@sze.hu

24 - Kazánreplika 2016. Június 1.24 Példák Ibriksz Tamás – ibriksz@sze.hu

25 - Kazánreplika 2016. Június 1.25 Példák Ibriksz Tamás – ibriksz@sze.hu

26 Köszönöm megtisztelő figyelmüket! 2016. Június 1.26 Ibriksz Tamás – ibriksz@sze.hu