Kártyás Bálint MFA nyári iskola Puskás Tivadar Távközlési Technikum

Az előadások a következő témára: "Kártyás Bálint MFA nyári iskola Puskás Tivadar Távközlési Technikum"— Előadás másolata:

1 Kártyás Bálint MFA nyári iskola Puskás Tivadar Távközlési Technikum
Elektrokróm rétegek Kártyás Bálint MFA nyári iskola Puskás Tivadar Távközlési Technikum

2 Bevezetés Mi az elektrokróm effektus? Reakítv porlasztás
Rétegek minősitése Összefoglalás, következtetés

3 Mi az elektrokróm effektus?
Chromos (görög) = szín Egy anyag színe változhat többféle hatásra (termo, foto, piezo …) Elektrokromizmus: színváltozás elektromos potenciál hatására Ismert anyagcsoportok, amelyeken ilyen hatás fellép: szerves pigmentek (reverzibilis redox reakciók) vezető polimerek (polaron képződés) fémoxidok

4 Alkalmazási területek
Kijelzők Tükrök és üvegek („Smart windows”) Autóipar Optikai szűrők

5 Építészeti alkalmazás

6 Az eszköz keresztmetszete Mo vagy W oxid aktív réteg
Elv: reverzibilis elektrokémiai reakció a MoO3 rétegben

7 MoO3 rétegépítés : reaktív magnetron porlasztás
Önfenntartó kisülés (plazma) – DC, RF Reaktív: oxigén szerepe Paraméterek: gáznyomás, teljesítmény, munkatávolság Magnetron elve: ionizációs hatásfok növelése, „sűrűbb” plazma

8 A rétegleválasztó berendezés

9 Leválasztott rétegek minősítése
Rétegvastagság mint a fő porlasztási paraméterek (gázarány, teljesítmény ) függvénye Optikai tulajdonságok (transzmisszió) Kristályszerkezet, sávszerkezet – XRD, SEM, TEM, PL …

10 Kiértékelés I. – Rétegépülési sebesség leírása
G=konstans S=aP+b a=k1G+k2 b=k3G+k4 S=(k1G+k2)P+k3G+k4 S:[nm/ciklus] P:[W] G: % m/m

11 Kiértékelés I. – Rétegépülési sebesség leírása
Mérési pontok eloszlása Illesztett függvény

12 Kiértékelés II. - Transzmisszió
(1/d(lnI/I0)Eg)2 MoO3 rétegek transzmissziós spektrumai Sávél változása Sávél felett: reflexió miatti minimumok-maximumok Kiértékelt spektrumok Tiltott sáv függése a leválasztási paraméterektől

13 Összefoglalás Reaktív porlasztással választottam le MoO3 rétegeket
Rétegépülési sebesség leírása illesztett tapasztati függvénnyel Transzmissziós tulajdonságok mérése

14 Köszönöm a figyelmet!